即運(yùn)用電子所形成的探測(cè)針（細(xì)電子束）作為X射線的激發(fā)源，來(lái)進(jìn)行顯微X射線光譜分析?；驹硎请娮邮?jīng)過(guò)電子光學(xué)系統(tǒng)如靜電或電磁透鏡聚焦到樣品中約1平方微米的區(qū)域，樣品經(jīng)電子束的轟擊，輻射出X射線；通過(guò)X射線譜儀，對(duì)待測(cè)元素X射線譜的波長(zhǎng)和強(qiáng)度進(jìn)行測(cè)量，逐點(diǎn)地定性和定量分析。通過(guò)電子掃描同步系統(tǒng)和電子顯示，可使樣品中各種組成的分布情況，以放大的圖像直接顯示于熒光屏上。因此，電子探針X射線顯微分析儀是礦物研究工作中既能微觀觀察，又能同時(shí)分析微區(qū)成分的精密儀器。